0809电子科学与技术
潘国峰
教授
发布日期:2015-04-24 访问量:
潘国峰,男,汉族,1968.10,教授,电子科学与技术专业博士生导师,中国电子学会传感器分会气湿敏专业委员会委员、中国微米纳米技术学会高级会员。长期从事敏感器件、电子信息与功能薄膜、微电子材料与技术等领域的研究工作。 国家科技重大专项课题“新型碱性CMP抛光液及清洗剂检测方法及检测标准的研究”(2009ZX02308-004)负责人。主持、主研国家、省部课题9项,主持完成横向课题20余项,目前在研项目:主持省部级项目1项,主研国家科技重大专项“20-14nm集成电路碱性抛光液与清洗液的研发”(2016ZX02301003-004-007)1项(排名3),在《Journal of Solid State Science and Technology》 等重要学术期刊和国际学术会议发表论文80余篇,已授权国家发明专利11项,获河北省自然科学奖两项“传感器特性检测及质量控制的理论研究”(证书:2004ZR3008-03)、“传感器制备及检测技术”(证书:2009ZR3010-1),编写教材1部。制定、备案产品企业标准两项。