主要从事微电子技术与材料方向的研究。主持完成“极大规模集成电路平坦化坦化工艺与材料”国家02重大专项课题1项、国家及省部分项目10余项，获省部级发明奖2项，发表学术论文三十余篇，授权国家发明专利6项，美国发明专利2项。现为河北省“微电子超精密加工材料与技术”协同创新中心、河北省“巨人计划”创新团队的核心成员。