潘国峰，男，教授，博士生导师。河北工业大学微电子学与固体电子学博士，研究方向敏感器件、电子与功能薄膜、半导体测试理论。1997年7月－2000年2月中国石油天然气总公司石油物探局（现更名为东方石油地球物理公司）研究院从事研究工作，历任工程师、长庆油田项目课题组长；2002年3月-至今，年在河北工业大学微电子技术与材料研究所工作，历任教师、副所长。

学术成果：国家科技重大专项课题“新型碱性CMP抛光液及清洗剂检测方法及检测标准的研究”（2009ZX02308-004）负责人，中国电子学会传感器分会气湿敏专业委员会委员、中国微米纳米技术学会高级会员。长期从事气敏传感器、电子与功能薄膜、微电子材料与技术领域的研究工作，主持、主研国家、省部课题9项，主持完成横向课题20余项，目前在研项目：主持省部级项目1项，主研国家科技重大专项“20-14nm集成电路碱性抛光液与清洗液的研发”（2016ZX02301003-004-007）1项（排名3），在《Journal of Solid State Science and Technology》 等重要学术期刊和国际学术会议发表论文80余篇，已获国家发明专利授权11项，获河北省自然科学奖两项“传感器特性检测及质量控制的理论研究”（证书:2004ZR3008-03）、“传感器制备及检测技术”（证书：2009ZR3010-1），编写教材1部。

研究领域：

1、金属氧化物半导体是应用最为广泛的气敏材料，基于化学原理的气敏传感器依然是主流，但半导体敏感材料存在着易受环境温度和湿度及其它气体的干扰，导致其选择性差、检测精度低、稳定性较差、工作温度偏高、对超低浓度气体的检测灵敏度不高、可见光利用率低等问题，针对目前存在的主要问题，研究新型半导体敏感材料的设计与可控制备等提高气敏传感器特性的关键问题，并深入开展气敏传感器的敏感机理研究，进而实现敏感器件的小型化、低功耗化、柔性化，实现可靠性和稳定性技术的突破，将其应用于环境领域和健康等领域。

2、探索进入20-14nm技术节点多层布线CMP过程中有重要影响的阻挡层材料的界面电势、界面腐蚀及表面吸附的机理及控制方法，分析影响全局及局部平坦化的关键因素，研制适用于20~14nm技术节点碱性阻挡层抛光液，使金属氧化物、氢氧化物转化为可溶性的化合物，酸性氧化物转化为可溶性盐类，使布线铜、阻挡层Ta、TaN、Co与low K介质在碱性CMP条件下的速率可控，实现低压力（1PSi以下）、不加副作用很大的BTA、速率达到工业要求、高平坦化效率，和对钌、钴等阻挡层CMP速率趋于0的碱性阻挡层抛光液，有效解决多种材料CMP条件下，由于速率不一致产生碟形坑、蚀坑、界面腐蚀等问题，满足20-14nm节点集成电路CMP抛光的需要。

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