张保国,男,教授,博士生导师。2000年,美国内华达大学里诺分校获工学博士学位;2000-2011年,在美国AXT,Wafer World,SVTC, Alta Devices等半导体高科技公司工作,研究方向:半导体材料(Si, Ge,GaAs, InP等)化学机械抛光和表面清洗,以及集成电路化学机械平坦化工艺(Cu, Ta, W, SiO2等), 担任高级工程师。2011-2013年,在江苏省创办无锡纳克斯半导体材料公司,担任总经理,兼任技术总监。2013年,加入河北工业大学电子与信息工程学院,任特聘教授。江苏省双创人才,河北省百人计划人才,燕赵友谊奖获得者。
学术成果:微电子技术与材料方向负责人,国际ICPT程序委员会委员、中国半导体协会平坦化技术联盟执行委员、中国颗粒学会颗粒制备与处理专业委员会委员,承担河北省科技支撑项目一项。共发表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶体学报》等学术论文二十余篇。已发布及获得知识产权专利四项。
研究领域:以集成电路(IC)为代表的微电子产业是整个电子信息产业的基础,是一个国家综合实力的重要标志。我国把集成电路的发展放在实体经济第一位,化学机械平坦化(CMP)是集成电路制造的关键技术,代表当今世界精密制造的最高水平。本课题组致力于半导体集成电路制备过程中的化学机械平坦化技术,以及第三代宽禁带半导体材料的表面加工技术等领域的研究。
研究方向包括:
1. 大规模集成电路20-14nm技术节点的化学机械平坦化新工艺的研究
2. 化合物半导体材料表面抛光及清洗加工技术的研究
3. 倒装LED芯片工艺中关键技术的研究
4. 柔性高效太阳能电池新工艺的研究
联系人:电子邮件:bgzhang2000@163.com; bgzhang@hebut.edu.cn; QQ: 2521542326