答 辩 人：张江亮

论文题目：GLSI钴阻挡层CMP及其平坦化机理研究

指导教师：潘国峰         职  称：教授

                      答辩委员名单

主席：岳  钊      教  授、博士生导师    （南开大学）

委员：梁继然      教  授、博士生导师    （天津大学）

      张万荣      教  授、博士生导师    （北京工业大学）

      杨瑞霞      教  授、博士生导师    （河北工业大学）

      杨  帆      教  授、博士生导师    （河北工业大学）

秘书：杨学莉      副教授                （河北工业大学）

时间：2026年8月29日上午9：30

地点：河北工业大学南院微电子所202会议室

欢迎参加！